液氩在半导体制造中扮演着至关重要的角色，其主要作用体现在以下几个方面。液氩作为冷却剂，可以有效地降低半导体器件在制造过程中的温度，防止由于温度过高导致的器件性能下降或损坏。液氩的化学惰性使得它不会与半导体材料发生反应，确保了制造环境的纯净度。

在半导体器件的清洗过程中，液氩可用于置换清洗液中的空气，防止氧化，保持半导体表面的清洁。此外，液氩在刻蚀和沉积工艺中，作为惰性气体保护介质，可以防止半导体表面受到污染。

液氩还广泛应用于离子注入工艺，其高密度和低热导率特性使得液氩能够为离子注入过程提供稳定的氛围，确保注入过程的准确性。在半导体制造的后处理阶段，液氩可用于设备的冷却和清洗，提高生产效率和产品质量。

综上所述，液氩在半导体制造中的应用是多方面的，它不仅确保了半导体器件的性能和可靠性，还提高了制造效率和成品率。