半导体行业全球领先的材料供应商Versum Materials, Inc. (NYSE:VSM)和致力于将原子设计材料设计并集成入气体输送、分离与净化系统的先锋企业NuMat Technologies宣布达成一项全球商业协议,旨在提供一个新的产品系列,以实现砷化氢、磷化氢和三氟化硼等掺杂气体的安全储存和输送。该新产品系列名为ION-X®,它以突破性的金属有机框架材料(MOF)为基础,该材料在亚大气压下能够选择性地吸附、储存和安全输送超高纯度气体。ION-X®提供优于半导体设备制造离子注入工艺中所使用的传统碳基吸附剂技术的性能优点。
Versum亚洲工艺材料总经理Jim Minicucci表示:“NuMat拥有专利MOF制造领域的专长,而Versum将利用其世界一流的全球业务覆盖来制造和实现ION-X®产品的商业化并在全球范围内对该产品进行分销,双方将结合各自的领导地位。依托我们在特种气体领域的悠久历史,公司计划在位于韩国始华的生产基地设计并创建一家新的ION-X掺杂气体填充厂。”
Versum Materials高级副总裁Ed Shober表示:“能够与NuMat Technologies携手合作向公司全球客户群交付ION-X®产品,令我们十分兴奋。ION-X®是一种新的差异化的发展机会,它与我们的工艺材料业务相得益彰,此外,还与我们作为特种气体制造商和供应商的核心能力相一致。”
NuMat Technologies公司首席执行官Ben Hernandez指出:“我们很高兴宣布与 Versum Materials达成此项协议,携手实现ION-X®的全球商业化。与Versum的合作关系彰显了NuMat差异化技术平台与Versum在半导体行业中的运营、质量及商业领先地位的战略匹配性。我们期望能够履行向客户交付价值和创新的共同使命。”