现场氮气发生器：氮气是工厂消耗最多的气体，需要在第一批工具入场前提供。大型显示屏工厂与大型半导体工厂一样，需要大量的氮气，只有现场制备才比较经济。

低温液体拖车：氧气、氩气和二氧化碳非现场生产，作为低温液体，它们通过特种真空绝缘储罐短途运输。

压缩气体拖车：氢气和氦气等其他大容量的压缩气体，通过拖车或ISO储罐经长距离运输供应。

独立包装：特种气体通过独立包装供应。对于硅烷和三氟化氮等体积较大的材料，可以采用大型ISO包装供货，容量可达10吨，体积较小的材料采用标准气瓶。

混合气体：激光气体和掺杂剂以几种不同气体混合物的形式供应。要将显示屏件制造保持在可接受的参数范围内，混合产品的精度至关重要。

厂内分布：即使在材料交付或生产完成后，仍然需要供应气体。在交付给各生产流程前，需对材料进行进一步过滤、纯化和在线分析。

结语

由于消费者青睐色彩越来越鲜艳、分辨率越来越高、功耗越来越低的显示屏，显示屏制造商将面临挑战，必须提升所采用的技术，开发新型显示屏，如灵活和透明的显示屏。这些新型显示屏的晶体管将采用LTPS和/或MO，因此目前在这些工艺中的气体使用量将继续增加。考虑到目前的a-Si显示屏生产情况，生产LTPS单位玻璃面积气体消耗量将增加25％，生产MO增加约50％。

为了满足这些日益增长的需求，气体供应商需要与显示屏制造商紧密合作，确定哪些技术能够满足其技术需求，为客户提供稳定且具有成本效益的气体解决方案。