气体圈子讯：近日，福建华谊三爱富氟佑新材料有限公司“三爱富（邵武）氟化学产业基地一期工程项目”环境影响评价第二次公示。该项目拟建于南平市邵武市金塘工业园三期沙塘平台，项目分二期实施，一期工程建设内容及规模：50t/a 六氟丁二烯装置、50t/aF2装置、配套 36万 Nm³/a 制氢装置、3000t/a 六氟环氧丙烷装置、200t/aPPVE、2000t/a 六氟丙酮装置、1000t/a 双酚 AF 装置、1000t/a 六氟异丙醇装置、500t/a 全氟聚醚装置等九套及配套的公辅工程，本次评价内容为一期工程。

该项目是由上海三爱富新材料科技有限公司和福煤（邵武）煤业有限公司共同出资在福建省邵武金塘工业园区注册成立的合资公司建造，合资公司（福建华谊三爱富氟佑新材料有限公司）中上海三爱富持股 80%、邵煤公司持股 20%。近几年，上海三爱富积极实施“走出去”战略。为进一步壮大公司实力，做大做强氟化工主业，上海三爱富在上级单位华谊集团公司的大力支持下，决定战略性选址福建邵武市金塘精细化工园投资建设新的生产研发基地，和当地合作伙伴一起，依托当地优质萤石资源，建设涵盖电子级氟化氢、中高端含氟聚合物、新型环保制冷剂、特种含氟精细化学品等氟化工产品在内的综合性产业基地，以助力实现公司自身发展定位和目标。

六氟丁二烯（C4F6）又称全氟丁二烯，作为下一代蚀刻气体，被认为具有竞争优势，它可取代CF4用于KrF激光锐利蚀刻半导体电容器图形的干工艺。C4F6在先进制程技术层面有诸多蚀刻上的优点：它具有高选择性和精确性、各向异性，适合对100 nm以下的电子线路进行蚀刻，性能较全氟碳气体和NF3更好；C4F6与C4F8相比也具有更高的对光阻和氮化硅选择比，这是很重要的两个优点；此外环境方面也是一个非常重要的因素，C4F6的全球变暖潜能值(GWP)几乎为0。有关专家指出，到目前为止，C4F6可能是唯一能提供所需蚀刻条件及减少排放的替代物。六氟丁二烯的合成路径较为多样化，但总结起来核心中间体可以分为六氟四氯丁烷、八氟二溴（碘）丁烷、三氟乙烯基氯（溴）化锌三大类，起始原料为四氯乙烯、三氯乙烯及三氯甲烷等氯代烃以及HF、F2等含氟物。

六氟丁二烯（C4F6）是一种附加值高，市场前景广阔的电子气体。目前，主要由海外厂商及海外厂商在国内的子公司经营，韩国厚城、梅塞尔、关东电化和大阳日酸等在国内均有生产布局。国内也有不少企业开始对其开展研究，包括绿菱气体、宇极科技、浙化院、派瑞特气等，其中宇极科技和浙化院分别于2017年、2018年在气体圈子主办的特种气体专业研讨会上就六氟丁二烯（C4F6）开发流程、生产技术和市场前景做专业分享。

宇极科技贾晓卿博士在气体圈子2017年研讨会做分享

浙化院张金柯博士在2018年气体圈子研讨会做分享