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有源矩阵薄膜晶体管（TFT）显示屏在二十世纪九十年代开始民用以来，它已成为现代生活不可或缺的组成部分，其应用远不限于电视机和智能手机，它还存在于我们日常生活中的主要通信和信息工具：手表（可穿戴设备）、电器、广告、标牌、汽车等。本文主要讨论显示制造工艺块所需要的特种气体，并对各种气体供应模式进行综述。

TFT显示屏制造与半导体器件制造方面有很多相似之处，比如：这两种制造过程中都需要使用大量气体、比如工艺步骤中的沉积、刻蚀、清洁和掺杂，还有其他步骤使用的气体类型也都比较相似。

技术

显示设备分层

目前市场上有两种显示屏：有源矩阵液晶显示屏（AMLCD）和AMOLED。AMLCD和AMOLED的显示屏基本部件相同。显示设备有4层（图1）：滤色层、薄膜晶体管开关层（气体主要用于这一层）、用于控制颜色选择的快门层、RGB（红绿蓝）颜色过滤器。